周波数(MHz) 外径 電極平面 電極凸面 電極材料 RoHS対応
3.000MH
12.4φ
14.0φ
Au・Ag・Al-Alloy
4.000MHz 12.4φ
14.0φ
Au・Ag・Al-Alloy
5.000MHz 12.4φ
14.0φ
Au・Ag・Al-Alloy
6.000MHz
12.4φ
14.0φ
Au・Ag・Al-Alloy













*膜厚モニター上に付着した物質の質量に応じて、周波数が変化します。それらの変化量により膜厚を検知します。
*バラつきを抑える為に公差の小さい設計を施しています。そのことで成膜条件・膜厚モニターの交換時期を管理しやすくなります。
*厳密な設計と高度な加工技術により、安定したライフを実現しました。
*お客様よりご使用済み品をお預かりし、丁寧に蒸着膜を剥離した後に成膜するリサイクル品にも対応しています。十分なコストパフォーマンスを得られます。

 

*弊社 膜厚モニターは標準仕様の他に、お客様の使用環境に合わせたカスタム品も製作可能です。
 上記データの様に低温側で変動を抑えた有機EL用の膜厚モニターの取り扱いもございます。